北京华卓精科科技股份有限公司由清华IC装备团队在清华大学及其下属“北京-清华工业技术研究院”和02专项的支持下创立，是一家肩负着专项重大科研成果产业化重任的高新技术企业。公司建立初衷在于将清华大学在02专项中积累的垄断技术落地产业化，通过“技术辐射＆下行”的方式，面向国内市场提供产业界急需的零部件、子系统类产品。华卓精科主要从事半导体制造装备及其关键零部件研发、设计、生产、销售与技术服务。

公司注册资金9600万, 成立时间为2012年5月9日，正式营业时间为2012年8月15日。公司现有团队200人左右。公司的经营范围：技术开发、技术推广、技术转让、技术咨询、技术服务、技术培训；计算机系统服务、数据处理、计算机维修；基础软件服务、应用软件服务；货物进出口、技术进出口、代理进出口；工程和技术研究与试验发展；销售机械设备、通讯设备、金属材料、电子产品、计算机、软件及辅助设备、五金、交电；组装生产电子工业设备、加工金属零部件（限分支机构经营）。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动。）

2015年8月10日，有限公司整体变更为股份有限公司。华卓精科面向国内外的IC制造、光学、超精密制造等行业，致力于为行业提供整机装备、核心子系统、关键零部件和定制服务，主营产品包含整机、超精密运动系统、精密仪器设备和特种制造等方面。华卓精科以国内高校的原发技术为基础，经过多年技术攻关和客户实用，形成了坚实规范的技术研发体系，现在已经成功推出了光刻机双工件台、精密隔振、超精密运动系统、关键零部件等系列化产品。